En esta región, que cuenta con una zona altiplánica, se distinguen cinco de las grandes formas básicas de relieve chileno.
Estas son: planicie litoral o costera, cordillera de la Costa, depresión intermedia, altiplano y cordillera de los Andes. Sin embargo, en la zona costera y en la depresión intermedia existen dos nuevos accidentes geográficos: el farallón costero y la meseta de Tarapacá.
– Planicie costera o litoral: es escasa y casi inexistente en esta región. Se presenta de manera muy angosta (no más de 2 km de ancho), excepto donde se emplaza la ciudad de Arica.
– Farallón costero: es un cordón uniforme seccionado por la quebrada de Vítor (al sur de la ciudad de Arica). Esta formación cae abruptamente al mar en forma de acantilado.
– Cordillera de la Costa: nace en el cerro Camaraca, a 30 km al sur de la línea de la Concordia. Es un núcleo aislado que posee el carácter de cerros isla llegando por sobre los 1.000 msnm. Esta morfología es igual en todo el sector costero comprendido entre Arica, por el norte, y la pampa de Camarones, por el sur.
– Depresión intermedia: es una extensa planicie que alcanza unos 40 km de ancho y cuyas alturas van desde los 500 a los 2.000 msnm. Sus principales pampas son las de la Chaca y de Camarones.
– Meseta de Tarapacá: se encuentra interrumpida por varias quebradas, las que han dado origen a pequeñas pampas, como la de Chaca y la de Camarones.
– Altiplano: es una meseta de gran extensión que se ubica a gran altura (4.000 msnm). Se halla en la zona oriente del sector andino. Aquí se encuentran varios ríos y lagunas, cuyas aguas no alcanzan a llegar al mar, como, por ejemplo, los ríos Caquena, Lauca, Isluga y Cariquima, el lago Chungará y las lagunas Parinacota, Cotacotani y Blanca.
– Cordillera de los Andes: se presenta maciza, alta y volcánica, con altitudes que se elevan por sobre los 6.000 msnm. Algunos de los volcanes más importantes son el Parinacota (6.342 msnm) y el Pomerape (6.282 msnm), que juntos forman los Nevados de Payachatas, en la frontera con Bolivia. Además, se encuentran los volcanes Guallatiri (6.060 msnm) y Tacora (5.980 msnm).